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在熱處理過程中，內應力的形成是不斷發生瞬時變化的，其大小、方向和分布狀態隨著溫度的變化和組織轉變的進程而不斷改變。因此，由內應力引起的畸變就比較復雜。

電熱處理產生的內應力主要 是熱應力和組織應力兩類。 工件在加熱和冷卻時，一方面由于內外存在溫差而引起比體積差，同時，表面與心部的不等時性相交也金為時處熱應力和組織應力綜合作用的結果。熱應力是溫度梯度的函數，體積差，這種比體積差便是熱處理應力產生的根本原因。而工件的殘余應力則元它取決于加熱溫度、加熱速度、工件截面厚度的差異程度、材料的散熱率、比熱容、膨脹系數，以及加熱、冷卻的均勻性等。組織應力取決于馬氏體轉變溫度、馬氏體的正方性及殘留奧氏體量。此外，鋼的淬透性、鋼的原始組織、淬火溫度、冷卻速度也是影響組織應力的重要因素。